Penerangan Produk
Nadi pembuatan bilik bersih,Pam Vakum Semikonduktorketepatan-dicipta untuk memenuhi keperluan fabrikasi mikroelektronik yang sangat ketat. Pam ini direka bentuk untuk memberikan persekitaran vakum-tanpa getaran yang bersih, stabil dan bebas getaran, yang sangat penting untuk proses yang walaupun pencemaran mikroskopik boleh membawa kepada kegagalan produk yang membawa bencana.produksecara universal menggunakan reka bentuk-bebas dan tahan karat-minyak, selalunya menggunakan bahan khusus yang boleh menahan gas proses yang agresif. Mereka mencapai tahap vakum tinggi yang diperlukan, biasanya turun kepada 0.001 Pascal, dengan kadar aliran boleh laras dan direka bentuk untuk mempamerkan profil getaran yang sangat rendah untuk mengelakkan kerosakan pada struktur nano yang halus.
Falsafah reka bentuk modular mereka membolehkan penyepaduan terus ke dalam set alat yang kompleks dan memudahkan servis yang lebih mudah, yang penting untuk meminimumkan masa henti alat yang mahal. Aplikasi utama bagiPam Vakum Semikonduktoradalah, seperti namanya, dalam industri semikonduktor, di mana ia digunakan dalam hampir setiap langkah pengeluaran cip, daripada etsa dan pemendapan kepada implantasi ion dan litografi. Ia juga penting dalam bidang berkaitan seperti pembungkusan elektronik dan pembuatan sel fotovoltaik. Selain daripada elektronik, pam ini digunakan dalam mesin getah dan plastik untuk memproses bahan gred-semikonduktor ketulenan-tinggi. Dalam pembungkusan makanan, mereka membantu dalam membangunkan pembungkusan khusus untuk komponen elektronik yang sensitif. Dalam sistem salutan vakum khusus,produkadalah penting untuk melaksanakan proses salutan gred semikonduktor-yang menuntut ketulenan dan kebolehpercayaan yang muktamad. Apabila kejayaan proses anda bergantung pada vakum yang bersih dan tidak berbelah bahagi,Pam Vakum Semikonduktoradalah penyelesaian yang muktamad dan dipercayai.
|
Parameter asas |
jenisNombor |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Kelajuan mengepam, m3/j |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Tekanan muktamad, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Kelajuan putaran, r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Lp Bunyi, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Penggunaan air maksimum, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Diameter salur masuk, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Diameter port ekzos, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Kuasa motor, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Berat kepala pam, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Cool tags: pam vakum semikonduktor, pam vakum semikonduktor China pengeluar, pembekal, kilang
